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 样品制备系列 >> 瑞士BAL-TEC公司 >> 离子减薄仪
 
  
产品编号:
6272251016
产品名称:
离子减薄仪
规  格:
RES 101
相关网址:
瑞士BAL-TEC公司
产品PDF文档:
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产品备注:
产品类别:
样品制备系列
 
    产 品 说 明
主要特点包括:
·完全由计算机控制的系统
·减薄角度可在0°~90°之间任意变化;
·最高灵活性的“一体化系统”
·加载--锁定系统可以保证永久的高真空
·离子能量可变,以适应高低能量的样品减薄
·通过LAN可对减薄过程进行外部控制
 
技术规格:
1.离子源
离子能量:1-10千伏
离子电流:>200mA(每离子源)
源电流:高至3.5m A(每离子源)
离子电流密度:10m A/cm2(每离子源)
FWHM: 0.8mm(10千伏)2.5mm(2千伏)
气体:氩气(其它气体也可)
气体流:<1sccm/自动控制离子源
2.角度设置
枪倾斜度:±45度
样品台倾斜度:-5度-210度;研磨角度:0度-90度(取决于样品台)
3.样品偏差:为了达到样品表面0o离子入射,在样品台加上正高压(大于3.5千伏)
选件 LZ 00128 VN

4.样品台:
TEM:
快速夹紧样品台(低至±4度)   LZ01631 VN
石墨样品台(低至0度)        LZ00135 VN 选件
单面低角度研磨样品台          LZ00131 VN选件
快速夹紧样品台的安装/定中心   LZ01632 VN 选件
SEM:
标准样品台           LZ00134 VN选件
25mm样品的样品台   LZ 04040 VN选件
45度斜切样品台      LZ00132 VN选件
90度斜切样品台      LZ02631选件
调节样品台的通用夹具 :
(用于LZ00135VN,LZ00131VN,LZ00134VN,LZ00132VN,LZ02631VN)选件 LZ00056VN

5.样品台的移动:
旋转(0.5-3rpm)
摆动(±90度,以1度为步幅)以1度为步幅的零点设定
在X轴方向移动(±3mm;准确度0.1mm)
倾斜度:-5度-210度

6.溅射台:
用不同靶极材料就地为TEM和SEM样品镀膜   LZ04037 VN选件
7.马达驱动器:
带增量解码器的计算机控制的DC马达用于样品台移动,研磨角度设定,负载锁定器移动

8.照明:直接和背后照明

9.计算机:
带触摸屏,PC控制 ,BAL-TEC RES 101软件监控研磨进程;
局域网使外部操作监控得以实现  LZ01679VN选件
10.视频监控:具有0.2-2光学放大的机动变焦的CCD彩色摄像头

11.自动开关:
光学影像处理自动终止(灵敏度可调)
法拉第筒(用于完全透光的样品) 选件 LZ04043 VN
12.真空系统:
无油二级系统,包括:隔膜泵和分子泵(70l/s)
计算机控制气体进口阀
样品转移后一分钟内真空负载锁定,真空腔内恒定高真空
最高真空:<2×10-6mbar
13.样品冷却:液氮冷却  LZ 04052 VN选件
 
 
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  • 点击数:4666  录入时间:2007-9-5 【打印此页】 【关闭
     
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