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样品台移动: X×Y = 15 mm x 15 mm, Z = 40 mm

显微操纵器移动: X × Y = 15 mm x 15 mm, Z = 20 mm,
触地压力范围约：+/- 0.3 mm,

视觉控制针尖位置精度： 1 µm.

PID – 对 1 cm x 1 cm x 2 mm 的样品的冷冻控制：低至5 Kelvin.