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产
品 展 示 |
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样品制备系列 >> 美国SOUTH BAY公司 >> 活性离子刻蚀机 |
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产品编号: |
881751216 |
产品名称: |
活性离子刻蚀机 |
规 格: |
RIE 2000 |
相关网址: |
美国SOUTH BAY公司 |
产品PDF文档: |
┊下载地址┊ |
产品备注: |
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产品类别: |
样品制备系列 |
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产 品 说 明 |
特点:
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手动控制使其可以在大范围的真空压力下进行操作,可采用的活性气体组合不受限制。
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不锈钢气体系统带整合式样品气体簇射环,可提供最大的刻蚀均衡性及可采用最多种活性气体。
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在中等100 w正向功率下可达到高刻蚀率,氧化物气大于200 Å/分钟,氮化物大于500Å/分钟。
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系统带有两条手动气体通道,还可增加多达四条大流量通道。
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气体管道、装配及样品台装置都是不锈钢结构适合腐蚀应用,陶资承轴涡轮分子泵和和腐蚀系列旋转叶泵保养要求极小,是长寿命的真空组件。
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安全联锁装置可防止错误操作,从而保护了系统和使用者。 |
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等离子刻蚀机
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垫片装置及研磨抛光装置
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点击数:3403 录入时间:2007-08-08 【打印此页】 【关闭】 |
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