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 样品制备系列 >> 美国SOUTH BAY公司 >> 活性离子刻蚀机
 
  
产品编号:
881751216
产品名称:
活性离子刻蚀机
规  格:
RIE 2000
相关网址:
美国SOUTH BAY公司
产品PDF文档:
下载地址
产品备注:
产品类别:
样品制备系列
 
    产 品 说 明

特点:

  • 手动控制使其可以在大范围的真空压力下进行操作,可采用的活性气体组合不受限制。
  • 不锈钢气体系统带整合式样品气体簇射环,可提供最大的刻蚀均衡性及可采用最多种活性气体。
  • 在中等100 w正向功率下可达到高刻蚀率,氧化物气大于200 Å/分钟,氮化物大于500Å/分钟。
  •  系统带有两条手动气体通道,还可增加多达四条大流量通道。
  • 气体管道、装配及样品台装置都是不锈钢结构适合腐蚀应用,陶资承轴涡轮分子泵和和腐蚀系列旋转叶泵保养要求极小,是长寿命的真空组件。
  •  安全联锁装置可防止错误操作,从而保护了系统和使用者。
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  • 点击数:3403  录入时间:2007-08-08 【打印此页】 【关闭
     
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