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 样品制备系列 >> 美国SOUTH BAY公司 >> 等离子刻蚀机
 
  
产品编号:
881715316
产品名称:
等离子刻蚀机
规  格:
PE2000
相关网址:
美国SOUTH BAY公司
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产品备注:
产品类别:
样品制备系列
 
    产 品 说 明
  • 特点
  • 手动控制,带数字读出器,使其可以在大范围的真空压力下进行操作,可采用多种反应气体组合,包括氧气、氟和氯。
  • 不锈钢气体系统可三位进料,使其可提供最大的刻蚀均衡及最佳的反应气体利用率,包括独立的通风管。
  • 系统带有两个手动气体通道,还可增加多达四条气流道。
  • 在中等的100W正向功率下,系统就可达到很高的刻蚀率—氧化物气大于200 Å/分钟,氮化物大于500Å/分钟。
  • 气体管道、装配及样品台装置都是不锈钢结构适合腐蚀应用,包括一台使用Fomblin油的旋转叶片泵。
  • 安全联锁装置可防止错误操作,从而保护了系统和使用者。
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  • 点击数:4079  录入时间:2007-8-8 【打印此页】 【关闭
     
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