手动控制，带数字读出器，使其可以在大范围的真空压力下进行操作，可采用多种反应气体组合，包括氧气、氟和氯。

不锈钢气体系统可三位进料，使其可提供最大的刻蚀均衡及最佳的反应气体利用率，包括独立的通风管。

系统带有两个手动气体通道，还可增加多达四条气流道。

在中等的100W正向功率下，系统就可达到很高的刻蚀率—氧化物气大于200 Å/分钟，氮化物大于500Å/分钟。

气体管道、装配及样品台装置都是不锈钢结构适合腐蚀应用，包括一台使用Fomblin油的旋转叶片泵。