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      在扫描电镜中以不同的倾斜角度为样品分别捕获两张图象，称之为左图与右图（左图比右图倾斜角度低），然后将两张图象下载到MEX软件中，根据捕获图象时的参数，MEX软件将自动执行一系列的计算，合成出样品的三维立体图象，用户可以对此立体图象做线、面、体积分析，得出期望的三维信息，真正突破了传统扫描电镜只能得出样品二维信息的局限。

·图片的存储、下载采用数据库结构，易于组织和管理。

·方便快捷的操作菜单，易懂易学。

·多种分析模式：

    线分析：对用户指定的线路进行三维分析，如深度测量、表面粗糙及起伏度的确定。

    面分析：对用户选定的面进行三维分析，如表面粗糙起伏信息，可用灰度及伪彩色图表现深度分布及用ISO线显示深度的差别。

    体积分析：对用户指定的区域进行凹凸体积计算。

在上面的三种分析中，都具有下面的功能：

1. 统计功能：对用户选中的线（面、体积）做信息统计。

2. 以表格的形式显示线（面、体积）的数据信息。

3. EN ISO 4287：在分析中，可自动得出对应的粗糙程度标准量： ISO 428信息

·所有的数据都可用其它软件（MS-Excel、MS-Word）输出，图象可用BMP、JPG、TIF、PNG等格式输。